再利用水75%で工場操業

報道陣に公開されたTSMC熊本第1工場の水処理施設=12日、熊本県菊陽町
報道陣に公開されたTSMC熊本第1工場の水処理施設=12日、熊本県菊陽町

 半導体受託生産の世界最大手、台湾積体電路製造(TSMC)は20日までに、熊本第1工場(熊本県菊陽町)の水処理施設を報道陣に公開した。工場で使った大量の水を浄化する設備で、操業で使う水の75%は再利用した水という。環境負荷を和らげることで、地下水減少を懸念する地元に配慮を示す狙いがある。

 公開は昨年12月の本格稼働後初めて。施設は工場棟の地下2階部分にあり、敷地面積は約2万2千平方メートルに上る。運営子会社JASMによると、くみ上げた地下水は半導体材料のウエハーの洗浄に用いた後、再利用処理を経て再び洗浄に用いたり、排ガスの除去に使ったりして平均4回使われる。

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